科研用真空等離子設備，又稱之為等離子表面處理/清洗設備。
歐倍爾是德國PlasmaTechnology GmbH 中國獨有代理商，實驗室系列真空等離子處理系統具備內部預編程處理，可選擇不同氣體，使用非常靈活。
真空等離子設備 適用于實驗室科研、小批量生產，是小部件納米清洗、表面活化、表面改性的理想選擇。
真空等離子設備 適用于PCB 制造、半導體/LED制造、TSP/OLED 設備、真空等離子噴涂系統。
MiniFlecto®
PlasmaFlecto® 10，PlasmaFlecto® 10
Smart Plasma®
SmartPlasma 10，SmartPlasma 30
| 型號 | 控制系統 | 腔體容積 | 尺寸 | 過程控制 | 工藝編程 | 可存儲工藝 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| MiniFlecto® | Windows | 2.4 L |
外部尺寸：500×400×250 mm 腔體尺寸：200 × 110 × 110 mm |
√ | 有 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PlasmaFlecto 10 | 11.5 L |
外部尺寸：570×500×300 mm 腔體尺寸：320×190×190 mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PlasmaFlecto 30 | 32 L |
外部尺寸：680×620×430 mm 腔體尺寸：380×290×290 mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma | PLC | 2.4 L |
外部尺寸：500×400×250mm 腔體尺寸：200×110×110 mm |
√ | 無 | 100 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma 10 | 11.5 L |
外部尺寸：570×500×300 mm 腔體尺寸：320×190×190mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma 30 | 32 L |
外部尺寸：680×620×430 mm 腔體尺寸：380×290×290 mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
• 可自由編程，實現連續性的處理工序組合
• 多圖表實時顯示反應動態
• 可連接網絡，實現遠程操作與維護
• 可新建、儲存、刪除處理程序模塊， 通過密碼訪問
• 西門子彩色控制界面
• 精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數
• 可連接網絡，實現遠程操作與維護
• 靈活易用的鋁滑動門
• 極低真空度、快速處理
• 表面清潔 (Plasma Cleaning)
歐倍爾儀器是德國Plasma Technology中國獨家代理商,專注真空等離子清洗機和大氣等離子清洗機的銷售、售后服務。
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