[文章導讀] FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微結構的機械測試進行了優化...
首個基于 MEMS的納米壓痕儀——FT-NMT04原位納米壓痕儀
FT-NMT04原位納米力學性能測試系統：是一款可在SEM（掃描電子顯微鏡）/FIB（聚焦離子束）中對微納米材料和結構的力學性能進行原位、直接而準確測量的納米機器人系統。
作為世界上第一個基于 MEMS 的納米壓痕儀， FT-NMT04 基于獲得專利的 瑞士FemtoTools 微電子機械系統（ MEMS ）技術。利用二十多年的技術創新，這種原位納米壓痕具有無與倫比的分辨率，可重復性和動態響應。
FT-NMT04 原位納米壓痕儀針對金屬，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS 等微結構的機械測試進行了優化。此外，通過使用各種附件。
FT-NMT04原位納米壓痕儀的功能可以擴展到各個研究領域的多樣化要求。納米壓痕，壓縮測試，拉伸測試，斷裂測試，疲勞測試它可以適配在客戶的掃描電鏡（立式電鏡）以及聚焦離子術中。
典型案列：
納米級測試：測試多層有機和無機復合薄膜中各膜層的力學特性（如模量和泊松比等），無機膜層厚度約100~600nm、有機膜層厚度約1~10um，做成納米柱（如下圖所示），進行壓縮測試，測其模量和屈服強度。
納米壓痕測試在多層薄膜的橫截面上單層。 FT-NMT04系統可以直接測量每層的彈性模量和硬度，厚度在50nm到100um之間。無需特殊的樣品制備。
從每層制備微/納柱，柱壓縮試驗以測量每層的屈服應力，斷裂應變和彈性模量。
從每層準備長方體形狀的微/納柱，使用SEM測量柱壓縮試驗期間的厚度/寬度變化以獲得泊松比。
微米級測試：單軸壓縮、拉伸和蠕變測試，懸臂梁、三點彎測試，泊松比測試，CTE測試，尺寸直徑10um-50um，高度30um-150um，測試對象是器件內部的underfill材料（polymer+填充顆粒），模量范圍1MPa~10Gpa。
FT-NMT04原位納米機械測試系統可以對模量從10kPa到500GPa的材料和結構進行以下測試：
2.1單軸壓縮試驗
2.2單軸拉伸試驗
2.3蠕變試驗
2.4懸臂彎曲
2.5三點彎曲試驗
2.6使用單軸壓縮試驗進行Poission比率試驗。
2.7熱膨脹系數（CTE）。利用FT-NMT04系統中的發現接觸功能，可以準確記錄加熱前后樣品的尺寸，并可以從軟件中獲得不同結構或材料的CTE。
