[文章導讀] 德國Plasma technology真空等離子清洗機可以用于精細清潔、表面活化、表面刻蝕、表面涂層,處理的均勻性和可重復性好,受到各大高??蒲性核臍g迎。
北京大學某學院研究人員需要在材料表面進行刻蝕,在表面生成特殊的微孔結構。但是在用濕法進行表面刻蝕處理樣品時,發現產生的微孔結構尺寸過大,難以進行后續的研究。研究人員經過查閱文獻,了解現在半導體芯片行業廣泛采用真空等離子技術進行表面刻蝕,得到的圖案尺寸能到微米甚至納米級。
研究人員與北京歐倍爾科學儀器有限公司聯系后,工程師充分了解客戶的樣品和需要的處理效果,向客戶介紹了Plasma technology真空等離子清洗機的表面刻蝕功能,可以在在納米級尺度的孔洞。為了確保設備的能滿足客戶需求,北京歐倍爾請客戶寄來樣品用樣機進行表面刻蝕的處理,得到了一定的實驗結果后,才為客戶推薦了Plasma technology真空等離子實驗室系列的產品。
Plasma technology 真空等離子設備
客戶根據樣品尺寸和小批量實驗需求,最后選用了Plasma technology公司腔體容積為2L的真空等離子清洗機miniflecto,除了對樣品進行刻蝕外,還可以用于樣品精細清潔、活化等常規應用,滿足了多項科研需求。
Plasma technology真空等離子清洗機為德國原裝進口,產品型號覆蓋2L至150L以及定制的數萬升超大腔體容積,可滿足實驗室、生產各種樣品工件、處理規模的需求。設備性能穩定,處理均勻,無耗材,無污染,運行成本低。
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